Услуги


    Лаборатория выполняет заказы по нанесению тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков на подложки (изделия) из металлов, стекла, полимеров методами вакуумного ионно-плазменного напыления.

    Возможно нанесение:

  • покрытий металлов (никель, хром, титан, алюминий, медь, тантал, гафний, ниобий и др.) и сплавов (латунь, нихром, диборид титана и др.);
  • защитных слоев оксидов и нитридов металлов, нитрида титана (под золото), нитрида титана-алюминия и др.;
  • многослойных покрытий типа алюминий/оксид кремния, титан/оксид титана, обеспечивающих дополнительный защитно-декоративный эффект;
  • оптических тонких пленок и многослойных структур на основе оксидов (TiO2, SiO2, In2O3, Nb2O5, Ta2O5, Al2O3 и др);
  • полупрозрачных покрытий (тонирование) с различной степенью пропускания;
  • многослойных отражающих покрытий с высокой стойкостью параметров (Al/Al2O3).


    • Оборудование, на котором реализованы данные технологии, позволяет в настоящее время наносить покрытия на изделия максимальным размером до 300 мм и рулонные материалы шириной до 500 мм с неравномерностью толщины пленки +/- 5 %.


    Лаборатория также выполняет заказы:

  • по разработке, изготовлению, поставке и наладке ионно-плазменного оборудования: магнетронных распылительных систем, ионных источников, плазменных источников электронов для нейтрализации ионных пучков, диагностического оборудования;
  • модернизация вакуумного оборудования;
  • проведение НИР и НИОКР в области разработки технологических процессов нанесения тонких пленок;
  • диагностика электрофизических, оптических, механических, трибологических свойств тонких пленок.