Системы диагностики

Последние разработки

Читать далее»

Программа "Deposition"

Пятница, Декабрь 18, 2016

Читать далее»

Актуальные новости

(11.01.2017)Встреча с представителями компании HUAWEI и представление доклада на тему: "Heat-absorbing films. Ion beam and ion-plasma processes for deposition compound thin films". Читать далее»

(10.01.2017)Проведена встреча с делегацией Сианьского политехнического университета (КНР). Читать далее»

Научные направления

  • Ионно-лучевые и ионно-плазменные системы и технологии формирования тонкопленочных структур на основе полупроводников, многокомпонентных диэлектриков, тугоплавких переходных металлов, сплавов и химических соединений на их основе;

  • Процессы и специальное технологическое оснащение для ионно-плазменной поверхностной упрочняющей обработки изделий различного функционального назначения (обрабатывающий инструмент, технологическая оснастка, элементы конструкций приборов, оборудования и т.д.) из черных и цветных металлов, работающих в условиях повышенных нагрузок;

  • СВЧ-плазменные технологические системы, газоразрядные модули и источники их питания для процессов селективной СВЧ плазмохимической обработки материалов и конденсированных сред (удаление слоев, модифицирование поверхностных свойств материалов, плазмополимеризация);

  • Научные основы активации химических процессов на поверхности объектов микроэлектроники, функциональной и биоэлектроники дозированными потоками инфракрасного излучения;

  • Разработка программных диагностических аппаратов и систем в медицине, инженерной экологии и производственной технике;

  • Анализ элементного и молекулярного состава, морфологии, оптических характеристик прецизионные микроскопические измерения линейных размеров микро- и наноструктур, тонких пленок и объемных материалов;

  • Выполнение научных исследований, направленных на разработку новых и совершенствование известных методик анализа и испытаний различных материалов, определение их свойств и параметров;

  • Теоретические основы и методы компьютерного моделирования технологических процессов модификации поверхностных и объемных свойств материалов с использованием концентрированных источников энергии.
Читать далее»

Наши партнеры