Технологии
Ионно-лучевое распыление
Ионные источники получили широкое распространение в технологии тонких пленок. Одним из главных достоинств ионно-лучевых технологий является разделение областей плазмообразования, ускорения ионов и объекта обработки. Это позволяет распылять металлы, диэлектрики и полупроводники без использования ВЧ мощности. В настоящее время в лаборатории разработано и эксплуатируются ионные источники различных типов. Многообразие разработанных ионных источников позволяет пользователю подобрать для конкретной операции источник с соответствующими параметрами формируемого пучка.
Реактивное ионно-лучевое распыление
Области применения ионных источников несколько ограничиваются необходимостью использования достаточно сильноточных эмиттеров электронов. Так для торцевого холловского ускорителя мощный источник электронов необходим для поддержания процесса плазмообразования и компенсации пространственного заряда ионного пучка. Проблема компенсации потока ионов также возникает при формировании сфокусированных ионных пучков. Электрические поля, возникающие при транспортировке фокусируемого ионного пучка, могут достигать высоких значений, расфокусируя ионы. Как следствие, распространение сфокусированных ионных пучков сопровождается их расплыванием вследствие взаимного расталкивания ионов.
ым пучком, и в необходимом количестве “присоединяются” к ионам (смотрите рисунок). В результате нейтрализованный пучок имеет плотность электронов приблизительно равную плотности пучка.
Ионная очистка подложек
Метод магнетронного распыления получил быстрое развитие в последнее десятилетие, где он установился как вариант процесса нанесения широкого диапазона важных для промышленности покрытий. Примерами являются твердые, износостойкие покрытия, антикоррозионные, декоративные покрытия и покрытия со специфическими оптическими, или электрическими свойствами.
Увеличение усилий в области разработки магнетронных распылительных систем обусловлено растущим спросом на высококачественные функциональные покрытия в разнообразных секторах рынка. Пленки, полученные методом магнетронного распыления, теперь во многих случаях по свойствам превосходят пленки нанесенные другим методами физического осаждения (PVD). Кроме того метод обладает высокой производительностью и по сравнению с другими методами могут быть получены значительно более толстые пленки. Следует отметить, что в настоящее время магнетронное распыление составляет около 90 % всего рынка распылительного оборудования.
Ионное ассистирование
Метод магнетронного распыления получил быстрое развитие в последнее десятилетие, где он установился как вариант процесса нанесения широкого диапазона важных для промышленности покрытий. Примерами являются твердые, износостойкие покрытия, антикоррозионные, декоративные покрытия и покрытия со специфическими оптическими, или электрическими свойствами.
Увеличение усилий в области разработки магнетронных распылительных систем обусловлено растущим спросом на высококачественные функциональные покрытия в разнообразных секторах рынка. Пленки, полученные методом магнетронного распыления, теперь во многих случаях по свойствам превосходят пленки нанесенные другим методами физического осаждения (PVD). Кроме того метод обладает высокой производительностью и по сравнению с другими методами могут быть получены значительно более толстые пленки. Следует отметить, что в настоящее время магнетронное распыление составляет около 90 % всего рынка распылительного оборудования.
Ионное травление
Метод магнетронного распыления получил быстрое развитие в последнее десятилетие, где он установился как вариант процесса нанесения широкого диапазона важных для промышленности покрытий. Примерами являются твердые, износостойкие покрытия, антикоррозионные, декоративные покрытия и покрытия со специфическими оптическими, или электрическими свойствами.
Увеличение усилий в области разработки магнетронных распылительных систем обусловлено растущим спросом на высококачественные функциональные покрытия в разнообразных секторах рынка. Пленки, полученные методом магнетронного распыления, теперь во многих случаях по свойствам превосходят пленки нанесенные другим методами физического осаждения (PVD). Кроме того метод обладает высокой производительностью и по сравнению с другими методами могут быть получены значительно более толстые пленки. Следует отметить, что в настоящее время магнетронное распыление составляет около 90 % всего рынка распылительного оборудования.
Магнетронное распыление
Метод магнетронного распыления получил быстрое развитие в последнее десятилетие, где он установился как вариант процесса нанесения широкого диапазона важных для промышленности покрытий. Примерами являются твердые, износостойкие покрытия, антикоррозионные, декоративные покрытия и покрытия со специфическими оптическими, или электрическими свойствами.
Увеличение усилий в области разработки магнетронных распылительных систем обусловлено растущим спросом на высококачественные функциональные покрытия в разнообразных секторах рынка. Пленки, полученные методом магнетронного распыления, теперь во многих случаях по свойствам превосходят пленки нанесенные другим методами физического осаждения (PVD). Кроме того метод обладает высокой производительностью и по сравнению с другими методами могут быть получены значительно более толстые пленки. Следует отметить, что в настоящее время магнетронное распыление составляет около 90 % всего рынка распылительного оборудования.
Реактивное магнетронное распыление
Метод магнетронного распыления получил быстрое развитие в последнее десятилетие, где он установился как вариант процесса нанесения широкого диапазона важных для промышленности покрытий. Примерами являются твердые, износостойкие покрытия, антикоррозионные, декоративные покрытия и покрытия со специфическими оптическими, или электрическими свойствами.
Увеличение усилий в области разработки магнетронных распылительных систем обусловлено растущим спросом на высококачественные функциональные покрытия в разнообразных секторах рынка. Пленки, полученные методом магнетронного распыления, теперь во многих случаях по свойствам превосходят пленки нанесенные другим методами физического осаждения (PVD). Кроме того метод обладает высокой производительностью и по сравнению с другими методами могут быть получены значительно более толстые пленки. Следует отметить, что в настоящее время магнетронное распыление составляет около 90 % всего рынка распылительного оборудования.
Импульсное магнетронное распыление
Метод магнетронного распыления получил быстрое развитие в последнее десятилетие, где он установился как вариант процесса нанесения широкого диапазона важных для промышленности покрытий. Примерами являются твердые, износостойкие покрытия, антикоррозионные, декоративные покрытия и покрытия со специфическими оптическими, или электрическими свойствами.
Увеличение усилий в области разработки магнетронных распылительных систем обусловлено растущим спросом на высококачественные функциональные покрытия в разнообразных секторах рынка. Пленки, полученные методом магнетронного распыления, теперь во многих случаях по свойствам превосходят пленки нанесенные другим методами физического осаждения (PVD). Кроме того метод обладает высокой производительностью и по сравнению с другими методами могут быть получены значительно более толстые пленки. Следует отметить, что в настоящее время магнетронное распыление составляет около 90 % всего рынка распылительного оборудования.
ВЧ магнетронное распыление
Метод магнетронного распыления получил быстрое развитие в последнее десятилетие, где он установился как вариант процесса нанесения широкого диапазона важных для промышленности покрытий. Примерами являются твердые, износостойкие покрытия, антикоррозионные, декоративные покрытия и покрытия со специфическими оптическими, или электрическими свойствами.
Увеличение усилий в области разработки магнетронных распылительных систем обусловлено растущим спросом на высококачественные функциональные покрытия в разнообразных секторах рынка. Пленки, полученные методом магнетронного распыления, теперь во многих случаях по свойствам превосходят пленки нанесенные другим методами физического осаждения (PVD). Кроме того метод обладает высокой производительностью и по сравнению с другими методами могут быть получены значительно более толстые пленки. Следует отметить, что в настоящее время магнетронное распыление составляет около 90 % всего рынка распылительного оборудования.
