О лаборатории

    Лаборатория ионно-плазменных систем и технологий входит в состав Центра 10.1 электронных технологий и технической диагностики технологических сред и твердотельных структур научно-исследовательской части БГУИР. Лаборатория создана в 1994 году на базе научного направления “Ионно-лучевые и плазменные процессы и вакуумное оборудование” кафедры Технологии радиоэлектронной аппаратуры. В лаборатории проводятся работы в области исследования и разработки устройств и технологий ионно-плазменного формирования тонкопленочных структур для оптики, нано-, микро-, оптоэлектроники и износостойких, защитно-декоративных тонкопленочных структур.

    2.1. Направления деятельности лаборатории

  • Разработка ионных источников для процессов ионно-лучевого распыления, двойного ионно-лучевого распыления, ионно-ассистированного нанесения слоев (IBAD);
  • Разработка магнетронных распылительных систем и несбалансированных магнетронных распылительных систем, в том числе для процессов магнетронного распыления при пониженном давлении;
  • Процессы реактивного ионно-лучевого и магнетронного распыления;
  • Процессы несбалансированного магнетронного распыления;
  • Методы нейтрализации ионных пучков;
  • Разработка процессов ионно-плазменного нанесения многослойных оптических структур с высокой стойкостью параметров;

  • Процессы ионно-плазменного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков и структур FeRAM на их основе;
  • Разработка составов и процессов нанесения магниторезистивных тонких пленок;
  • Разработка процессов ионно-плазменного формирования функциональных слоев и структур микро-твердооксидных топливных элементов (micro-SOFC);
  • Ионно-лучевое травление;
  • Ионная полировка оптических деталей;
  • Моделирование процессов магнетронного распыления.


  • 2.2. Состав лаборатории

  • Завадский Сергей Михайлович, кандидат технических наук, директор Центра 10.1.
  • Голосов Дмитрий Анатольевич, кандидат технических наук, ведущий научный сотрудник Центра 10.1.
  • Телеш Евгений Владимирович, научный сотрудник Центра 10.1.
  • Мельников Сергей Николаевич, научный сотрудник Центра 10.1.


  • 2.3. Аспиранты и магистранты

  • Ермоленко Мария, аспирант
  • Джейкобс Окоджи,аспирант ;
  • Д. Котинго, аспирант;
  • Рубан Геннадий Михайлович, магистрант.