Диагностика
Система диагностики параметров ионных пучков и потоков заряженных частиц ДЕНИ-1500/001
Система диагностики параметров ионных пучков и потоков заряженных частиц ДЕНИ-1500/001 применяется в технологическом оборудовании ионно-плазменной обработки и нанесения покрытий, при проведении научных исследований, и предназначена для оперативного контроля параметров ионных пучков, потоков заряженных частиц в технологических процессах, а также для юстировки и проверки таких характеристик ионно-плазменных систем, как энергия ионов и распределение плотности ионного тока.
Шестиэлектродный электростатический зонд ENPR/412-01
Шестиэлектродный электростатический зонд ENPR/412-01 предназначен для измерения энергетического спектра ионов и заряженных частиц с энергией до 1500 эВ и плотности ионного тока. Селектор частиц представляет собой электростатическую систему, состоящую из пяти сеточных электродов. Шестой сплошной электрод является коллектором ионов. Селектор частиц обеспечивает экранирование плазмы от возмущающего потенциала зонда, разделение ионной и электронной компоненты, устранение влияния вторичной электронной эмиссии сеток и коллектора и селекцию частиц по энергии. Для сепарации ионов и формирования тормозной характеристики на одну из сеток подается пилообразное высокое напряжение
Кварцевый датчик QI-001
Кварцевый датчик QI-001 предназначен для работы в системах кварцевого контроля толщины и скорости роста пленок в технологическом оборудовании вакуумного нанесения слоев и при проведении научных исследований.
Датчик измерения плотности тока заряженных частиц CP-002
Датчик измерения плотности тока заряженных частиц CP-002 применяется в технологическом оборудовании ионно-плазменной обработки и нанесения покрытий и предназначен для оперативного контроля параметров ионных пучков, потоков заряженных частиц в технологических процессах, а также для юстировки и проверки таких характеристик ионно-плазменных систем, как распределение плотности ионного тока.
